T/CIE 132-2022 磁控溅射设备薄膜精度测试方法
- 资料名称：T/CIE 132-2022 磁控溅射设备薄膜精度测试方法
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资料介绍
本文件规定了磁控溅射设备薄膜精度的测试方法,测试原理,被测件,测试环境和测试程序等。
本文件适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。
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